M02300 - SEMI M23 - 鏡面単結晶インジウムリンウェーハの仕様 Revision:SEMI M23-0703 - Superseded 注意：在此指導方針中所稱"應該"條款之一致性必須宣告與本文件之一致性，所稱"可能"、"建議"、"首選"、"推薦"、"注意"或"相關資訊"條款則並不一定要宣告其一致性。

注意：在此指導方針中所稱"應該"條款之一致性必須宣告與本文件之一致性，所稱"可能"、"建議"、"首選"、"推薦"、"注意"或"相關資訊"條款則並不一定要宣告其一致性。

• Repeatability

This specification defines the acceptance criteria for cofired ceramic pin grid array packages

and one of the Sensor/Actuator Network Communication Specifications

M02300 - SEMI M23 - 鏡面単結晶インジウムリンウェーハの仕様 Revision:SEMI M23-0703 - Superseded 注意：在此指導方針中所稱"應該"條款之一致性必須宣告與本文件之一致性，所稱"可能"、"建議"、"首選"、"推薦"、"注意"或"相關資訊"條款則並不一定要宣告其一致性。SEMI M23SEMI M23. 60703 Subordinate Standards: SEMI M23. 1 0600 50 mm SEMI M23. 2 1000 3(76. 2mm) SEMI M23. 3 0600 SEMI M23. 4 0999 100 mm SEMI M23. 5 1000 100 mm V GROOVE SEMI M23. 6 0703 150 mm Referenced SEMI Standards SEMI M39 Test Method for Measuring Resistivity and Hall Coefficient and Determining Hall Mobility on Semi Insulating GaAs Single Crystals